Bu higrometreler, genellikle ince bir lityum klorür tabakası içeren bir yarı iletken içerir. Yarı iletken, havadaki su buharı miktarı değiştikçe elektrik direncindeki değişikliği ölçer. Nemi doğru seviyede tutmak ve fazla su buharının hassas malzemeleri bozmasını önlemek için, nemlendiriciler ve diğer depolama alanları genellikle elektrikli higrometrelerle donatılmıştır.
