Horace Bénédict de Saussure, 1783’te ilk saç gerilim higrometresini tasarladı, ancak Leonardo da Vinci, 1400’lerin sonlarında higrometrenin bir versiyonunu icat etti. Francesco Folli, 1664’te ilk pratik higrometreyi tasarladı ve John Frederic Daniell, 1820’de ilk çiy noktası higrometresini yaptı. Guillaume Amontons, 1687’de üç sıvı barometreye benzeyen bir tür higrometre icat etti.
James Hutton, 1700’lerin sonlarında ilk psikrometreyi geliştirdi.
Johann Heinrich Lambert ilk olarak 1774’te higrometre adını kullandı.
Evrensel mafsal, denge yayı ve bir prototip solunum cihazının üretken mucidi Robert Hooke, higrometreler ve barometrelerde iyileştirmeler yaptı.
Yukarıdaki görüntü “Kimya Üzerine Bir Ders Kitabı”ndan bir higrometreyi göstermektedir. 1861’de John William Draper tarafından yayınlandı. John Frederic Daniell (1790-1845) tarafından yapılan bu higrometre, çiy noktasını belirlemeye yönelikti. Bu higrometrenin resmi ve açıklaması sayfa 52’de bulunabilir. Kitap, Google Kitaplar’da ücretsiz olarak mevcuttur..
