Bunların çalışma şekli, bir kapasitörün plakaları arasındaki malzemenin su buharını toplaması ve böylece kapasitansı değiştirmesidir. Kapasitif higrometreler doğru bir şekilde kalibre edildiğinde, ±% 2 RH’ye kadar hassas olabilirler. Bu higrometreler, değişen bağıl neme karşı hoş bir doğrusal tepkiye sahiptir. Davis hava istasyonları bu tür bir higrometre kullanır. Bu kapasitörler elektriksel çevrelerine tepki verir ve bu şekilde kalibre edilmelidir.
